Die Integrationsdichte und die Größe der Komponenten auf IC-Chips halten sich nach wie vor an das Mooresche Gesetz. Entsprechend hoch sind auch die Anforderungen an Nanopositioniersysteme und Präzisionssteuerungen in der Produktionskette und in der Inspektion, wo Positionsfehler und Drift werden bis zur Größenordnung eines Atomdurchmessers kontrolliert werden müssen. Mit herkömmlichen Positioniersystemen ist diese Präzision und Stabilität nicht zu erreichen.

mechOnics bietet hier eine breite Palette piezobasierter Lösungen: vom sehr kleinen Miniatur-Positionierer MS 15 bis hin zu den hochpräzisen Nanopositionierantrieben für lange Stellwege z.B. MS 30. Außerdem ist die Piezokipp- Plattform MT 25 zur Strahlstabilisierung und -korrektur und Multi-Phasen-Nanopositionierversteller DSP 50 mit erhöhten Stellkräften verfügbar. Optische Sensoren der Serie PS 30 regeln die Positionierer mit großer Bandbreite bis in den Nanometerbereich hinein.