Die Präzisionspositioniersysteme kommen in vielen Chemieexperimenten zum Einsatz.

Sie erreichen hier höchste Positionier- genauigkeit bis in den Subnanometerbereich sowie extrem gleichförmige Bewegungen mit Ebenheitswerten von wenigen Nanometern. Optische Positionssensoren erfassen optional die Bewegungen und erlauben Wiederhol- genauigkeiten im Bereich von einem Nanometer.

Hierdurch sind die Piezoantriebe auch ideale Bauelemente für Mikro-/Nano-Indent-Verfahren sowie für Nanotribologie-Versuche.

Zum Beispiel werden die kleinsten Präzisionspositionierer MS 15 in einer xyz – Kombination in diversen Indentern verwendet.